| 1 | 高速钢上TiN涂层残余应力的曲率测试和有限元分析显示文摘采用多弧离子镀在W6Mo5Cr4V2高速钢上沉积五种不同厚度TiN涂层,用曲率法和有限元法研究TiN涂层残余应力和构成。结果表明涂层厚度对其残余应力有很大影响,特别是对本征应力。当涂层厚度从3μm变化到11μm时,TiN涂层总残余应力分布在-3.12~-2.29GPa之间;热应力分布在-1.96~-1.92GPa之间;本征应力分布在-1.17~-0.37GPa之间。其中热应力所占的比例较大,约占62%~68%。当膜基比ξ<0.017时,总残余应力随ξ的增加呈非线性增加;当ξ=0.017时,该值达到最大值-3.12GPa;当ξ>0.017时,该值随ξ的增加而下降。造成这种变化的主要原因是涂层本征应力受涂层结构影响较大,随着涂层厚度的增加,涂层中孔洞、过冷液滴以及界面微裂纹等缺陷也随之增加,导致涂层中本征应力得到有效释放。 | 弓满锋 乔生儒 卢国锋 姬浩 LYASHENKO B A | 2010 | 机械工程学报2010，46，6： | 7 |
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