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1高性能激光诱导石墨烯压力传感器的研究显示文摘为了保证在低成本、易制备的前提下提高激光诱导石墨烯压力传感器的性能,设计了一种石墨烯压力传感器的放大结构。表征了激光诱导石墨烯压力传感器的表面结构,分析了表面多孔泡沫结构对压阻效应的影响,采用COMSOL软件对传感器放大结构的受力情况进行仿真分析,得到在外界压力下石墨烯层的受力情况。选用3D打印方法制备树脂材料放大结构基底,在低成本的同时兼顾了轻质、高精度、高机械强度等性能。测试结果表明,压强在5~20 kPa范围内时,该放大结构的灵敏度较无放大结构提高了约43%。张顺毅 吉新村 王德波 2023微电子学2023,53,2:0
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