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| 1 | 透明衬底光致导电网栅的设计与制作显示文摘依据半导体光电导效应分析了光致导电复合网栅调控机理,阐明了光致导电复合网栅的设计思路与结构特点.结合透明衬底蓝宝石基片,选取雷达波2~18GHz,红外3~12μm波段为研究对象对复合网栅结构参数进行优化和仿真,当网栅参数周期由5mm变为2.5mm、边长由4.9mm变为2.4mm时,网栅的中心谐振频率从13.2GHz变为14GHz.采用衍射光栅同轴对准原理保证两次lift-off光刻工艺的对准精度,制备的网栅周期误差小于6μm,边长误差小于5μm,满足实验要求.复合网栅的光学和电学性能测试结果为:加载复合网栅的蓝宝石衬底样件与未加载的相比,红外透过率曲线整体走势未发生变化,透过率整体下降了7.8%左右,与单独金属网栅相比相差3.4%,符合红外透过损失规律.该复合网栅在敏感波长为600nm光照射下测得的中心谐振频率从13.22GHz变为14.03GHz,与仿真结果基本一致,验证了光照对复合网栅电磁性能调控的可行性. | 王君 冷雁冰 孙艳军 纪雪松 王丽 王越 | 2018 | 光子学报2018，47，9： | 1 |
| 2 | 光致导电FSS用于红外光学窗的仿真与实验显示文摘提出将光致导电FSS用于红外光学窗,利用其光照导电特性改变FSS导电区域尺寸,实现带通频段的调控。以方孔型FSS为例进行仿真,结构尺寸变化前后中心谐振频率分别为13.2、14 GHz。采用镀膜及光刻工艺按设计参数在蓝宝石基底上制备光致导电FSS并测试,结果显示:配比为CdS∶CdSe(1∶1~5∶1)、掺杂Cl^-∶In^(3+)∶Cu^(2+)(3.6∶2.6∶1.3)的光致导电膜对600 nm的可见光敏感度最高;平均光功率200 mW/cm^2的光照射前后中心频率从13.1变为14.2 GHz;该样件与只有金属FSS的蓝宝石样件相比,红外透过率降低约4%,与FSS表面占有率对红外透过影响计算结果一致。证明了光致导电FSS用于红外光学窗的可行性。 | 王君 冷雁冰 孙艳军 纪雪松 王丽 王越 | 2018 | 真空科学与技术学报2018，38，7： | 0 |
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