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    题名 作者 年代 出处 被引量
1氧化热处理对VO_2薄膜红外光学相变特性的影响显示文摘采用直流磁控溅射法在硅基底上制备 VO2薄膜,并对薄膜氧化热处理。分别对热处理前后薄膜进行 X 射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)透射率测试,分析了热处理对 VO2薄膜晶相成分与红外透射率相变特性的影响。实验分析表明,经热处理的 VO2发生非晶态向晶态转变,单斜金红石结构 VO2(011)晶体具有明显择优取向,晶粒尺寸均匀度提高,且薄膜的红外透射率具有明显相变特性,相变温度为60.5℃,3-5μm、8-12μm 波段的红外透射率对比值达到99%,适合应用于红外探测器的激光防护研究。徐凯 路远 凌永顺 乔亚 唐聪 2015激光与红外2015,45,1:3
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