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    题名 作者 年代 出处 被引量
1GaN:Si薄膜的结构和应力特性研究显示文摘对掺杂浓度为1017~1019cm-3的GaN:Si样品进行高精度X射线衍射和拉曼散射光谱的研究发现:随着Si掺杂浓度的增加,GaN晶粒尺寸逐渐减小,引发更多的螺位错和混合位错致使摇摆曲线的半高宽有所增加,同时薄膜中的剩余应力也逐渐减小。当掺杂浓度高于2.74×1018cm-3时,薄膜从压力状态转变为张力状态。冯倩 郝跃 王峰祥 2005固体电子学研究与进展2005,25,4:3
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