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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	一种垂直梳齿驱动V型梁微镜设计(英文)显示文摘设计了一种垂直梳齿驱动的V型扭转梁支撑的微镜器件。采用有限元仿真和解析方法对该器件进行了静态和动态分析。在100 V直流电压下,镜面转角可达0.7°,能够满足镜面扫描所需要的起始角。同时对比了不同支撑梁结构下的前五阶模态频率以及前两阶频率比,并分析了不同梁间距以及V型梁夹角下各个参数的变化趋势,得出了使微扭转镜工作在最稳定振型的V型梁倾斜角度,确定了所设计结构的优化尺寸。最后对V型梁的扭转应力进行了分析。	李晓莹孙瑞康燕斌乔大勇	2011	传感技术学报2011，24，5：	2

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